Karabük Üniversitesi İFALAB bünyesinde Fahrettin Atik, Mehmet Süreyya Arı, Prof. Dr. Tamila Anutgan, Prof. Dr. Mustafa Anutgan, Arş. Gör. Efe Karaavcı ve Arş. Gör. Mehmet İzzeddin Güler'den oluşan ekibin 1,5 yıllık Ar-Ge çalışmaları sonucunda, laboratuvar ölçekli yarı iletken süreçleri için uygun maliyetli ve kompakt bir alttaş temizleyici (Wafer Cleaner) üretildi. Cihazın tasarım süreci ve kararlılık testleri uluslararası bilim camiasıyla paylaşıldı.
Sunum Yapılan Kongre
Balkan 15th International Conference on Applied Sciences
Üsküp, Makedonya · 20–22 Mart 2026
KONGRE BİLDİRİSİ
Design and Prototype Fabrication of a Cost-Effective Substrate Cleaner for Lab Scale Semiconductor Processes